洁净蒸汽通常指优于工业蒸汽的三类高品质蒸汽，各自对应不同的纯度标准和应用场景。

过滤蒸汽由工业蒸汽经过高效过滤装置产生，要求去除所有粒径大于5微米的颗粒，包括固体和液滴，遵循3A标准、英国热保存食品指南和FDA材质规范。

洁净蒸汽（涵盖医院蒸汽、HTM2031标准蒸汽、EN285标准蒸汽 ）包含宽泛的纯度和品质要求，从基本不含“锅炉给水化学物质”到具备特定纯度特征不污染产品或制程的规范洁净气体。这类蒸汽由独立发生器产出，可采用软化饮用水、去离子水或反渗透水作为给水。

纯净蒸汽在洁净蒸汽基础上要求更为严格，其冷凝水必须符合USP级注射用水标准，且不含细菌或热原质，遵循EN285、HTM2031、HTM2010、ISPE、ASME BPE等多重国际标准。

这些标准体系为蒸汽品质提供了明确的技术规范，确保在不同应用场景下蒸汽的纯净度和安全性符合行业要求。